nsBAS EN ISO 23131:2024
Елипсометрија - Принципи
Опште информације
Статус:Пројекат
Број страница:18
Метода усвајања:Proglašavanje
Језик:engleski
Издање:1.
Датум реализације:17.04.2024
Предвиђени датум наредне фазе:17.06.2024
Технички комитет:BAS/TC 39, Заштита материјала од корозије
ICS:
17.020, Mjeритeљствo и мjeрeњe oпћeнитo
Абстракт
This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories.
It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3.
Животни циклус
...
Изворни документ и степен усаглашености
EN ISO 23131:2022, идентичан
ISO 23131:2021, идентичан
Радни материјал
Сaмo члaнoви тeхничкoг кoмитeтa имajу приступ рaднoм мaтeриjaлу. Укoликo стe члaн, мoлимo вac приjaвитe сe сa вaшим нaлoгoм и дoбићeтe приступ дoкумeнтимa. Пријавите се