nsBAS EN ISO 23131:2024

Elipsometrija - Načela


Opće informacije
Status:Projekt
Broj stranica:18
Metoda usvajanja:Proglašavanje
Jezik:engleski
Izdanje:1.
Nadnevak realizacije:17.04.2024
Predviđeni nadnevak naredne faze:17.06.2024
Tehnički komitet:BAS/TC 39, Zaštita materijala od korozije
ICS:
17.020, Mjeriteljstvo i mjerenje općenito

Apstrakt
This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories. It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3.

Životni ciklus
...

Izvorni dokument i stepen usklađenosti
EN ISO 23131:2022, identičan
ISO 23131:2021, identičan

Radni materijal

Samo članovi tehničkog komiteta imaju pristup radnom materijalu. Ukoliko ste član, molimo prijavite se sa vašim nalogom i dobićete pristup dokumentima. Пријавите се